描画機(β機・デモ機)
製品・技術紹介
製品情報
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描画デバイス | Digital Micro mirror Device (DLP9500UV) |
光源(波長) | LED(405nm) |
対物レンズ | 0.5um / 0.72um / 1.0um |
ヘッドユニット数 | 2 |
描画方式 | スキャニング描画(ステージ連続移動) |
グレースケール | BSI(Binary Shot Integration) 256階調 |
オートフォーカス | Height-Map AF, Scanning AF |
開発テーマ項目
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描画システム | 光学ヘッドユニット (高精度光学システム、マルチヘッド/スキャニング描画、etc.) |
測長システム | 位置制御 (リアルタイム姿勢制御、6軸補正、AF機構、etc.) |
データハンドリング | 高速データ処理、各種補正機能 (CD/座標位置補正、PSI機能、etc.) |
当社プロダクトの強み BSI(Binary Shot Integration)
最新のデジタル技術を用いたArtfil独自の描画技術
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描画機(β機・デモ機)
データハンドリング
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