描画機(β機・デモ機)
製品・技術紹介
製品情報
| 描画デバイス | Digital Micro mirror Device (DLP9500UV) |
| 光源（波長） | LED（405nm） |
| 対物レンズ | 0.5um / 0.72um / 1.0um |
| ヘッドユニット数 | 2 |
| 描画方式 | スキャニング描画(ステージ連続移動) |
| グレースケール | BSI(Binary Shot Integration) 256階調 |
| オートフォーカス | Height-Map AF, Scanning AF |
開発テーマ項目
| 描画システム | 光学ヘッドユニット (高精度光学システム、マルチヘッド/スキャニング描画、etc.) |
| 測長システム | 位置制御 (リアルタイム姿勢制御、6軸補正、AF機構、etc.) |
| データハンドリング | 高速データ処理、各種補正機能 (CD/座標位置補正、PSI機能、etc.) |
当社プロダクトの強み BSI(Binary Shot Integration)
最新のデジタル技術を用いたArtfil独自の描画技術
描画機(β機・デモ機)
データハンドリング
